Центр предназначен для удовлетворения существующих и прогнозируемых потребностей предприятий наноиндустрии в услугах по метрологическому и нормативно-методическому обеспечению, а также потребностей в испытаниях и сертификации продукции наноиндустрии.

Руководитель Центра
первый заместитель директора ФГУП ВНИИОФИ
Иванов Вячеслав Семенович

Центр представляет собой распределенную структуру, включающую:

• Базовые организации

  • ФГУП ВНИИОФИ (головная организация)
  • ФГУП ВНИИМС
  • ФГУ РНЦ Курчатовский институт

• Региональные отделения

  • ФГУ ТЕСТ-С.-Петербург (Северо-западный ФО)
  • ФГУП ВНИИМС (Центральный ФО)
  • Ростовский ЦСМ (Южный ФО)
  • ФГУП ВНИИМС (Приволжский ФО)
  • ФГУП УНИИМ (Уральский ФО)
  • ФГУП СНИИМ (Сибирский ФО)
  • ФГУП ВНИИФТРИ (Дальневосточный ФО)

• Отраслевые отделения

  • ФГУП ВИАМ
  • ФГУП ЦНИИ КМ Прометей
  • ФГУ РНЦ Курчатовский институт
  • ГОУ ВПО МИЭТ
  • ФГУП ЦНИИХМ
  • ФГУП НИИФП
  • ТГУ
  • ФГУП Центр Келдыша
  • ОАО ВНИИНМ им. А.А.Бочварова

• Прочие предприятия ННС

Посмотреть структуру Центра (pdf)

• Площадь чистой зоны: 100 м²
• Класс чистоты по ГОСТ ИСО 14644-1-2002: 5÷7
• Климатические параметры:
  • температура: 20-24 ^оС
  • влажность 60-75 %
• Стабильность температуры: 0,5 оС/час
• Стабильность влажности: 1 % в час
• Максимальное энерговыделение аппаратуры: 7 КВт
• Максимальное число работающих: 8 чел.

• Стабилизированная шкала эквидистантных частот в спектральном диапазоне: 500-2100 нм
• Частотный интервал между отдельными линиями: 250 MГц
• Точность: 10-14
• Стабильность: 5×10^-13 за 1 секунду

• Измеряемые параметры:
  • размер частиц
  • дзета потенциал
  • абсолютная молекулярная масса
• Анализируемые образцы - молекулярные и коллоидные растворы, суспензии, эмульсии
• Диапазон размеров: 0.6 нм – 6.0 мкм
• Диапазон определяемой молекулярной массы - от 1x10³ до 2x10⁷ Дальтон
• Диапазон концентраций - от 0.1 мг/мл до 40% (объёмных/весовых)
• Лазер - 4 мВт, 633 нм, He-Ne

• Длина когерентности оптического излучения, мкм: 2,9
• Диапазон вертикального сканирования, мкм: 150
• Вертикальное разрешение, нм: <0,1
• Скорость сканирования, мкм/сек – до 7
• Расширенный диапазон вертикального сканирования, мм: 15
• Вертикальное разрешение в расширенном диапазоне, нм: <100
• Латеральное разрешение, мкм (зависит от объектива): 0,37÷9,5
• Количество элементов изображения (формат ПЗС-матрицы): 640х480
• Линейное поле зрения, мм: 0,03÷14

• Режимы работы СЗМ в воздухе и жидкостях:
  • контактный, полуконтактный/ резонансный режим
  • режим визуализации фазы колебаний кантилевера
  • микроскопия сил трения
  • силовая спектроскопия
  • модуляционная силовая микроскопия
  • электростатическая силовая микроскопия
  • микроскопия поверхностного потенциала
  • магнитная силовая микроскопия
• Стандартное оборудование СЗМ: система сканирования образцом, обеспечивающая постоянное положение зонда по координатам XY и Z относительно лазерного источника и фотодетектора
• Возможности наращивания
  • сканирующая емкостная микроскопия
  • сканирующая микроскопия сопротивления растекания
  • туннельная атомно-силовая микроскопия
  • атомно-силовая микроскопия проводимости
  • атомно-силовая микроскопия проводимости в режиме торсионного резонанса

• Электронная пушка – Автоэмиссионный катод типа Шоттки, стабильность пучка по току не хуже 0,2%/час / 0,4%/сутки
• Ионная пушка – на базе Ga-источника
• Ускоряющее напряжение электронной пушки: от 100 до 30000 В (шаг 10В)
• Ускоряющее напряжение ионной пушки: от 2 000 до 30 000 В
• Сканирование и литография: с разрешением до 50 нм
• Полный диапазон увеличений: от 12х до 900 000х
• Разрешающая способность электронной колонны: 0,8 нм при использовании STEM-детекторов
• Разрешающая способность ионной колонны: 4нм
• Вакуумная система
  • безмаслянная
  • рабочий высокий вакуум в камере не хуже 2х10^-6гПа
  • рабочий высокий вакуум в пушках не хуже 2х10^-9гПа

• Ускоряющее напряжение: до 120 000 В или выше
• Катодный узел: для работы с W-катодом и LaB6-катодом или с автоэмиссионным катодом Шоттки
• Диапазон увеличений: от 8х до 630 000х
• Разрешающая способность
  • по линии не хуже 0,2 нм
  • по точкам не хуже 0,34 нм
• Вакуумная система – раздельная откачка участков ПЭМ (пушка/колонна/камера наблюдения)
• Система получения изображения: цифровая камера с разрешением до 3072х2304 пикселей
• Дополнительное оборудование, имеется возможность установки на микроскоп:
  • энергодисперсионного спектрометра с разрешением не хуже 136 эВ
  • ограничителя луча
  • сканирующей приставки с разрешением 1.5 / 2.0 /2.0 нм
  • детектора вторичных электронов
  • детектора отраженных электронов
  • детектора электронов рассеянных под высокими углами
  • детектора темного поля
  • детектора светлого поля

• Мощность: не менее 3 кВт
• Максимальное напряжение: 60 кВ, шаг 1 кВ
• Минимальный шаг гониометра: 0.0001⁰
• Диапазон углов сканирования: от -12 до +164⁰
• Макимальные размеры образца (ДхШхВ): 400 мм х 550 мм х 400 мм
• Детектор: сцинтилляционный без принудительного охлаждения (NaI)

• Разрешающая способность: 100 нм
• Режимы работы:
  • фотолюминесценция
  • рамановская спектроскопия
  • флуорисценция
• Материал образцов
  • металлы
  • полупроводники
  • пластики
  • биоматериалы
• Диапазон углов сканирования: от -12 до +164⁰
• Совмещение: с АФМ модулем
• Источник излучения
  • лазерный диод (785 нм)
  • He-Ne (632.8 нм)
  • Nd-YAG / SHG (532 нм)

• Длина волны зондирующего излучения, нм: 532, 650, 690
• Поле зрения, мкм: 145 х 100, 30 х 23
• Разрешение латеральное, мкм: 0,5
• Разрешение по глубине, нм: 2
• Алгоритм реконструкции фазы: метод фазовых шагов
• Возможность измерения параметров слоистых структур, измерение в жидких средах, с высоким уровнем шумов

• Разрешение: 80 нм
• Стандартные режимы: светлое и темное поле
• Опционально:
  • дифференциальный
  • интерференционный контраст
• Поле зрения: 950 мкм x 750 мкм (объектив 5x)
• Видеокамера: 1280 x 1024 пиксел
• Максимальная толщина образца: 2.5 см
• Скорость сканирования (максимально): 23 мкм/с
• Набор объективов: 5X, 10X, 20X, 50X, 100X

Стандартные образцы представляют собой суспензию наночастиц коллоидного золота в деионизованной воде, Комплект ГСО состоит из 3 ампул, содержащих водные суспензии наночастиц золота с номинальным размером 10, 30 и 60 нм.