По Соглашению о предоставлении субсидии от «30» мая 2025 г. № 075-15-2025-456 (внутренний номер 15.СИН.25.04) с Минобрнауки России в рамках Федеральной научно-технической программы развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на период до 2030 года и дальнейшую перспективу выполняется работа по теме «Метрологическое обеспечение диагностики и аттестации функциональных структур и материалов для микроэлектроники и литографии с использованием синхротронного излучения в диапазоне экстремального и вакуумного ультрафиолета на канале «Метрология» Курчатовского источника синхротронного излучения»

Цели исследовательской программы (проекта):

Реализация следующих мероприятий Программы:

• Мероприятие 1 «Проведение синхротронных и нейтронных исследований (разработок), необходимых для решения принципиально новых фундаментальных и крупных прикладных задач», в том числе: - поддержка научных и научно-технических проектов, выполняемых образовательными организациями высшего образования, научными организациями, в том числе совместно с организациями, действующими в реальном секторе экономики, представителями международного научного сообщества, проектов исследователей в возрасте до 39 лет;
• Мероприятие 2 «Создание сетевой синхротронной и нейтронной научно-исследовательской инфраструктуры на территории Российской Федерации», в том числе: - проектирование, строительство и (или) модернизация, а также техническая эксплуатация (с соблюдением нормативных требований безопасности) уникальных научных установок класса «мегасайенс», ввод в эксплуатацию исследовательских станций и разработка отечественной приборно-инструментальной базы для оснащения экспериментальных станций уникальных научных установок класса «мегасайенс»;
• Мероприятие 3 «Подготовка специалистов в области разработки, проектирования и строительства источников синхротронного и нейтронного излучения, а также научных кадров для проведения синхротронных и нейтронных исследований (разработок) в целях получения результатов мирового уровня», в том числе: - разработка и реализация образовательных программ высшего образования и дополнительных профессиональных программ, направленных на создание прорывных технологических решений с применением синхротронных и нейтронных источников.

Задачи исследовательской программы (проекта):

Создание технологий и технических решений с применением синхротронного излучения в ультрамягком рентгеновском диапазоне и экстремальном ультрафиолете для решения задач метрологии, диагностики функциональных материалов и структур, развития перспективных технологий микроэлектроники и литографии. А именно:

• Разработка технологии контроля качества УФ фоторезистов с использованием синхротронного излучения.
• Разработка технологий контроля параметров оптических элементов для экстремального УФ-диапазона.
• Разработка технологии калибровки фоотоэлектронных преобразователей в УФ диапазоне.

Подготовка специалистов и исследователей для синхротронных и нейтронных исследований (разработок)

Проект будет выполняться коллективом, составленным из сотрудников ФГБУ «ВНИИОФИ», НИЦ «Курчатовский институт» и МФТИ. Привлекаемые к работе сотрудники является ученым с высокой квалификацией, автором многочисленных работ в российских и международных рецензируемых журналах, индексируемых в международных базах цитирования Scopus и WoS. Часть из ученых обладает большой педагогической практикой.

На этапе № 1 в период с «30» мая 2025 г. по «31» декабря 2025 г. за счет бюджетных средств выполнялись следующие работы:

Работы выполняемые ВНИИОФИ:

• Проведение исследований в области использования синхротронного излучения (СИ) на дискретных длинах волн для измерения спектральной чувствительности приемников (детекторов), измерений спектрального пропускания фильтров, тестирования оптических зеркал и фильтров на основе новых материалов и покрытий;
• Разработка методики измерения времени отклика детекторов в УФ диапазоне;
• Исследования спектральной чувствительности и режимов работы алмазных детекторов синхротронного излучения в УФ диапазоне;
• Разработка и модернизация узла компарирования для экспериментальной станции (канал «Метрология»);

Работы выполняемые НИЦ «Курчатовский институт»:

• Исследование возможности применения синхротронного излучения для контроля загрязнений полупроводниковых пластин методом TXRF.

Работы выполняемые МФТИ:

• Исследование влияния технологических условий изготовления ячеек сегнетоэлектрической памяти (материалы электродов, тип кристаллизационного отжига) на величину остаточной поляризации, структурные свойства сегнетоэлектрического слоя и распределение заряженных дефектов в нем, а также на их эволюцию при функционировании ячейки, с помощью in situ синхротронной рентгеновской микродифракции и in situ микроскопии пьезоотклика;
• Подготовка, повышение квалификации или профессиональная переподготовка научных кадров по направлениям реализации Программы.

Работы выполняемые совместно:

• Сопровождение работ по инсталляции узла компарирования для синхротронного канала на экспериментальной станции (канал «Метрология») (выполнялось ВНИИОФИ совместно с НИЦ «Курчатовский институт»);
• Выполнение работ по автоматизации системы контроля и формирования профиля пучка синхротронного излучения на экспериментальной станции (канал "Метрология") (выполнялось ВНИИОФИ совместно с НИЦ «Курчатовский институт»).

На этапе № 1 в период с «30» мая 2025 г. по «31» декабря 2025 г. за счет внебюджетных средств выполнялись следующие работы:

Работы выполняемые Индустриальным партнером АО «Нанотроника»:

• Экспериментальные исследования фотохимических процессов в УФ фоторезистах под действием синхротронного излучения

На этапе № 1 были получены следующие результаты:

Результаты полученные МФТИ:

• Результаты исследований влияния технологических условий изготовления ячеек сегнетоэлектрической памяти на величину остаточной поляризации, структурные свойства сегнетоэлектрического слоя и распределение заряженных дефектов в нем, а также на их эволюцию при функционировании ячейки;
• Повышение квалификации специалистов сторонних научных и промышленных организаций, использующих источники синхротронного излучения при исследовании изделий промышленного производства.

Результаты полученные НИЦ «Курчатовский институт»:

• Технология контроля пластин.

Результаты полученные ВНИИОФИ:

• Результаты экспериментальных исследований в области использования пучка СИ на дискретных длинах волн для калибровки спектральной чувствительности приемников (детекторов), измерений спектрального пропускания фильтров, тестирования перспективных оптических систем и их компонент на основе новых материалов и покрытий;
• Методика измерения времени отклика детекторов в УФ диапазоне;
• Результаты измерений откликов детекторов в области мягкого рентгена и УФ диапазона;
• Результаты исследований спектральной чувствительности и режимов работы алмазных детекторов синхротронного излучения в УФ диапазоне;
• Узел компарирования для синхротронного канала.

Результаты полученные ВНИИОФИ совместно с НИЦ «Курчатовский институт»:

• Расширение функциональных возможностей экспериментальной станции;
• Автоматизация системы контроля и формирования профиля пучка синхротронного излучения.

Результаты полученные Индустриальным партнером АО «Нанотроника»:

• Результаты экспериментальных исследований фотохимических процессов в УФ фоторезистах под действием синхротронного излучения.