ГЭТ 203-2012

Эталонные меры комплексного показателя преломления
Государственный первичный эталон состоит из комплекса следующих технических средств и вспомогательных устройств:
- цифрового спектрального эллипсометра;
- эталонных мер комплексного показателя преломления однослойных и многослойных в виде плоских супергладких подложек с пленками различной толщины из разных металлов, полупроводников и диэлектриков, а также массивные заготовки из кремния и других материалов – для контроля стабильности эталона;
- профилометра интерференционного компьютерного для контроля плоскостности рабочей поверхности эталонных мер;
- автоматизированного интерференционного микроскопа для контроля параметров шероховатости супергладких рабочей поверхности эталонных мер;
- цифровой метеостанции для измерения параметров окружающей среды;
- системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.
|
Государственный первичный эталон применяют для измерения оптических постоянных n и k тонкопленочных структур, представляющих собой комбинации тонких металлических, диэлектрических и полупроводниковых слоев (пленок) на поверхности полупроводникового кристалла или изолятора, необходимы в микроэлектронике. Контроль технологических параметров (толщина, композиция состава, величина шероховатости) в полупроводниковой наноэлектронике, в рентгеновской оптике, оптике интерференционных покрытий, включающих слои металлов. Комплексный показатель преломления необходимо измерять и учитывать при интерференционных измерениях высоты рельефа и/или толщины в нанометровом диапазоне.
Основные области применения:
- микроэлектроника
- физика твердого тела
- физика поверхности
- материаловедение
- технология оптических покрытий
- химия полимеров и электрохимия
- биология, медицина
Измерение комплексного показателя преломления (его составляющих n и k) выполняется с помощью спектрального эллипсометра через измерение эллипсометрических углов. Используются как стандартные модели «Metal Substrates», «Absorbing Thin Films (B-Spline)», так и собственные модели в зависимости от типа подложки (сапфир, ситалл, кремний). Для передачи размера единиц изготовлены эталонные меры комплексного показателя преломления однослойные и многослойные в виде плоских супергладких подложек с пленками различной толщины из разных металлов, полупроводников и диэлектриков, а также массивные заготовки из кремния и других материалов. Для контроля качества мер используются профилометр интерференционный компьютерный (плоскостность) и автоматизированный интерференционный микроскоп (шероховатость).

Контактные данные
|