ГЭТ 186-2017

Эталонная установка для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси.

Эталонная установка для воспроизведения, хранения и передачи единиц пространственного распределения эллипсометрических углов Дельта и Пси в декартовой системе координат (x,y)

Эллипсометрия широко используется для исследования физико-химических свойств поверхности, ее морфологии, для измерения толщин многослойных структур и характеризации оптических свойств тонких пленок.

Области применения:

• микроэлектроника;
• физика твердого тела;
• физика поверхности;
• материаловедение;
• технология оптических покрытий;
• химия полимеров и электрохимия;
• биология;
• медицина.

Вид измерений:

• эллипсометрия;
• фотометрия.

Состав эталона:

• Эталонная установка для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси;
• Эталонная установка для воспроизведения, хранения и передачи единиц пространственного распределения эллипсометрических углов Дельта и Пси в декартовой системе координат (x,y).

Контактные данные

Эллипсометрия – это совокупность методов изучения поверхности жидких и твёрдых тел по состоянию поляризации светового пучка, отражённого этой поверхностью и/или преломлённого на ней. Падающий на поверхность плоско поляризованный свет приобретает при отражении и преломлении эллиптическую поляризацию вследствие наличия тонкого переходного слоя на границе раздела сред. Зависимость между оптическими постоянными слоя и параметрами эллиптически поляризованного света устанавливается на основании формул Френеля. Измерение параметров эллиптически поляризованного света, отраженного или прошедшего через исследуемый образец, позволяет измерять оптические постоянные и толщину тонких пленок.

В состав эталонной установоки для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси входят:

• цифровой спектральный эллипсометр;
• эталонные меры эллипсометрических углов в виде эллипсометрических пластинок – кремниевых пластинок с пленкой из двуокиси кремния различной толщины - для контроля стабильности эталона;
• цифровая метеостанция для измерения параметров окружающей среды;
• системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.

В состав эталонной установки для воспроизведения, хранения и передачи единиц пространственного распределения эллипсометрических углов Дельта и Пси в декартовой системе координат (x,y) входят:

• спектральный эллипсометрический комплекс с двухкоординатной системой позиционирования;
• эталонная мера пространственного распределения эллипсометрических углов Дельта и Пси в виде эллипсометрической пластинки в специальном ложементе с координатной привязкой;
• интерференционный профилометр для измерения формы поверхности меры пространственного распределения эллипсометрических углов Дельта и Пси в виде эллипсометрической пластинки в специальном ложементе с координатной привязкой;
• система лазерная измерительная для калибровки двухкоординатной системы позиционирования;
• микроинтерферометр для получения изображений микрогеометрии поверхности эллипсометрических пластинок;
• цифровая метеостанция для измерения параметров окружающей среды;
• системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.