Центр метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии
cmo-1 cmo-2
  Направление деятельности Руководитель

Центр предназначен для удовлетворения существующих и прогнозируемых потребностей предприятий наноиндустрии в услугах по метрологическому и нормативно-методическому обеспечению, а также потребностей в испытаниях и сертификации продукции наноиндустрии.

Руководитель Центра
первый заместитель директора ФГУП ВНИИОФИ
Иванов Вячеслав Семенович

Заместитель директора
Золотаревский Юрий Михайлович

zolotarevsky

convert1

Основные результаты работы
  • Создана действующая инфраструктура Центра метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии, включающая сеть региональных и отраслевых отделений
  • Разработан комплекс нормативно-методических и организационно-правовых документов, регламентирующих работу Центра, взаимодействие его отделений
  • Проведен мониторинг измерительных потребностей предприятий ННС, измерительных и калибровочных возможностей отделений Центра
  • Создана информационно-аналитическая система, обеспечивающая взаимодействие отделений Центра между собой и с предприятиями наноиндустрии, включающая базу данных измерительных возможностей и измерительных потребностей предприятий наноиндустрии
  • Проведено повышение квалификации кадров поверителей и метрологов
  • Проведена апробация работы Центра путем организации его опытного функционирования, проведено необходимое инструментальное и нормативно-методическое дооснащение
  • Выполнены мероприятий по созданию механизмов международного признания результатов измерений и калибровок средств измерений в сфере нанотехнологий
  • Расширена область аккредитации головного отделения Центра метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии
  • Реализована возможность работы Центра метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии в режиме ЦКП
Структура центра

Центр представляет собой распределенную структуру, включающую:

  • Базовые организации

    • ФГУП ВНИИОФИ (головная организация)
    • ФГУП ВНИИМС
    • ФГУ РНЦ Курчатовский институт
  • Региональные отделения

    • ФГУ ТЕСТ-С.-Петербург (Северо-западный ФО)
    • ФГУП ВНИИМС (Центральный ФО)
    • Ростовский ЦСМ (Южный ФО)
    • ФГУП ВНИИМС (Приволжский ФО)
    • ФГУП УНИИМ (Уральский ФО)
    • ФГУП СНИИМ (Сибирский ФО)
    • ФГУП ВНИИФТРИ (Дальневосточный ФО)
  • Отраслевые отделения

    • ФГУП ВИАМ
    • ФГУП ЦНИИ КМ Прометей
    • ФГУ РНЦ Курчатовский институт
    • ГОУ ВПО МИЭТ
    • ФГУП ЦНИИХМ
    • ФГУП НИИФП
    • ТГУ
    • ФГУП Центр Келдыша
    • ОАО ВНИИНМ им. А.А.Бочварова
  • Прочие предприятия ННС

structure

 

 

Посмотреть структуру Центра (pdf)

Приборы и оборудование Центра Технические характеристики

room

Технологическое помещение с нормируемыми параметрами окружающей среды (класс 5+7 по ГОСТ ИСО)

 

  • Площадь чистой зоны: 100 м2
  • Класс чистоты по ГОСТ ИСО 14644-1-2002: 5÷7
  • Климатические параметры:
    • температура: 20-24 оС
    • влажность 60-75 %
  • Стабильность температуры: 0,5 оС/час
  • Стабильность влажности: 1 % в час
  • Максимальное энерговыделение аппаратуры: 7 КВт
  • Максимальное число работающих: 8 чел.

combgenerator

FC1500-250 – синтезатор оптических частот компании Менло Системс ГмбХ

 

  • Стабилизированная шкала эквидистантных частот в спектральном диапазоне: 500-2100 нм
  • Частотный интервал между отдельными линиями: 250 MГц
  • Точность: 10-14
  • Стабильность: 5×10-13 за 1 секунду

zetasizernano

Анализатор размера частиц ZetasizerNano фирмы Malvern

 

  • Измеряемые параметры:
    • размер частиц
    • дзета потенциал
    • абсолютная молекулярная масса
  • Анализируемые образцы - молекулярные и коллоидные растворы, суспензии, эмульсии
  • Диапазон размеров: 0.6 нм – 6.0 мкм
  • Диапазон определяемой молекулярной массы - от 1x103 до 2x107 Дальтон
  • Диапазон концентраций - от 0.1 мг/мл до 40% (объёмных/весовых)
  • Лазер - 4 мВт, 633 нм, He-Ne

zygo

Нанопрофилометр Zygo NewView 6200

 

  • Длина когерентности оптического излучения, мкм: 2,9
  • Диапазон вертикального сканирования, мкм: 150
  • Вертикальное разрешение, нм: <0,1
  • Скорость сканирования, мкм/сек – до 7
  • Расширенный диапазон вертикального сканирования, мм: 15
  • Вертикальное разрешение в расширенном диапазоне, нм: <100
  • Латеральное разрешение, мкм (зависит от объектива): 0,37÷9,5
  • Количество элементов изображения (формат ПЗС-матрицы): 640х480
  • Линейное поле зрения, мм: 0,03÷14

innova

СЗМ Innova фирмы Veeco

 

  • Режимы работы СЗМ в воздухе и жидкостях:
    • контактный, полуконтактный/ резонансный режим
    • режим визуализации фазы колебаний кантилевера
    • микроскопия сил трения
    • силовая спектроскопия
    • модуляционная силовая микроскопия
    • электростатическая силовая микроскопия
    • микроскопия поверхностного потенциала
    • магнитная силовая микроскопия
  • Стандартное оборудование СЗМ: система сканирования образцом, обеспечивающая постоянное положение зонда по координатам XY и Z относительно лазерного источника и фотодетектора
  • Возможности наращивания
    • сканирующая емкостная микроскопия
    • сканирующая микроскопия сопротивления растекания
    • туннельная атомно-силовая микроскопия
    • атомно-силовая микроскопия проводимости
    • атомно-силовая микроскопия проводимости в режиме торсионного резонанса

nvision

NVision 40 фирмы Carl Zeiss

 

  • Электронная пушка – Автоэмиссионный катод типа Шоттки, стабильность пучка по току не хуже 0,2%/час / 0,4%/сутки
  • Ионная пушка – на базе Ga-источника
  • Ускоряющее напряжение электронной пушки: от 100 до 30000 В (шаг 10В)
  • Ускоряющее напряжение ионной пушки: от 2 000 до 30 000 В
  • Сканирование и литография: с разрешением до 50 нм
  • Полный диапазон увеличений: от 12х до 900 000х
  • Разрешающая способность электронной колонны: 0,8 нм при использовании STEM-детекторов
  • Разрешающая способность ионной колонны: 4нм
  • Вакуумная система
    • безмаслянная
    • рабочий высокий вакуум в камере не хуже 2х10-6гПа
    • рабочий высокий вакуум в пушках не хуже 2х10-9гПа

limbra

Libra 120

 

  • Ускоряющее напряжение: до 120 000 В или выше
  • Катодный узел: для работы с W-катодом и LaB6-катодом или с автоэмиссионным катодом Шоттки
  • Диапазон увеличений: от 8х до 630 000х
  • Разрешающая способность
    • по линии не хуже 0,2 нм
    • по точкам не хуже 0,34 нм
  • Вакуумная система – раздельная откачка участков ПЭМ (пушка/колонна/камера наблюдения)
  • Система получения изображения: цифровая камера с разрешением до 3072х2304 пикселей
  • Дополнительное оборудование, имеется возможность установки на микроскоп:
    • энергодисперсионного спектрометра с разрешением не хуже 136 эВ
    • ограничителя луча
    • сканирующей приставки с разрешением 1.5 / 2.0 /2.0 нм
    • детектора вторичных электронов
    • детектора отраженных электронов
    • детектора электронов рассеянных под высокими углами
    • детектора темного поля
    • детектора светлого поля

shimadzu

Shimadzu – Рентгеновский дифрактометр

 

  • Мощность: не менее 3 кВт
  • Максимальное напряжение: 60 кВ, шаг 1 кВ
  • Минимальный шаг гониометра: 0.00010
  • Диапазон углов сканирования: от -12 до +1640
  • Макимальные размеры образца (ДхШхВ): 400 мм х 550 мм х 400 мм
  • Детектор: сцинтилляционный без принудительного охлаждения (NaI)

witec

Ближнепольный микроскоп Witec

 

  • Разрешающая способность: 100 нм
  • Режимы работы:
    • фотолюминесценция
    • рамановская спектроскопия
    • флуорисценция
  • Материал образцов
    • металлы
    • полупроводники
    • пластики
    • биоматериалы
  • Диапазон углов сканирования: от -12 до +1640
  • Совмещение: с АФМ модулем
  • Источник излучения
    • лазерный диод (785 нм)
    • He-Ne (632.8 нм)
    • Nd-YAG / SHG (532 нм)

mia1

МИА-1 – Автоматизированный лазерный микроинтерферометр

 

  • Длина волны зондирующего излучения, нм: 532, 650, 690
  • Поле зрения, мкм: 145 х 100, 30 х 23
  • Разрешение латеральное, мкм: 0,5
  • Разрешение по глубине, нм: 2
  • Алгоритм реконструкции фазы: метод фазовых шагов
  • Возможность измерения параметров слоистых структур, измерение в жидких средах, с высоким уровнем шумов

veeco

Конфокальный сканирующий микроскоп Veeco

 

  • Разрешение: 80 нм
  • Стандартные режимы: светлое и темное поле
  • Опционально:
    • дифференциальный
    • интерференционный контраст
  • Поле зрения: 950 мкм x 750 мкм (объектив 5x)
  • Видеокамера: 1280 x 1024 пиксел
  • Максимальная толщина образца: 2.5 см
  • Скорость сканирования (максимально): 23 мкм/с
  • Набор объективов: 5X, 10X, 20X, 50X, 100X

so_1_midl

 

Стандартные образцы представляют собой суспензию наночастиц коллоидного золота в деионизованной воде, Комплект ГСО состоит из 3 ампул, содержащих водные суспензии наночастиц золота с номинальным размером 10, 30 и 60 нм.


Перечень мер, входящих в состав оборудования головного отделения

Разработанные и аттестованные методики выполнения измерений и стандартные образцы

Результаты мониторинга измерительных потребностей предприятий наноиндустрии (октябрь 2010 г.) (pdf)

 

Услуги

ФГУП «ВНИИОФИ» оказывает услуги по
поверке, калибровке средств измерений, аттестации методик проведения измерений

Приборы

В соответствии с положениями устава ФГУП «ВНИИОФИ» изготавливает и реализует высокоточные средства измерений

Метрологические характеристики могут уточняться в договорах на поставку конкретных средств измерений

ЭТАЛОННАЯ БАЗА

На базе ФГУП «ВНИИОФИ» размещена уникальная база
государственных первичных эталонов

Copyright ВНИИОФИ | iDesign&ServisDesk | 2009 - 2017

s.e.o.:NBmarketing