Центр метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии
cmo-1 cmo-2
  Направление деятельности Руководитель

Центр предназначен для удовлетворения существующих и прогнозируемых потребностей предприятий наноиндустрии в услугах по метрологическому и нормативно-методическому обеспечению, а также потребностей в испытаниях и сертификации продукции наноиндустрии.

Руководитель Центра
первый заместитель директора ФГУП ВНИИОФИ
Иванов Вячеслав Семенович

Заместитель директора
Золотаревский Юрий Михайлович

zolotarevsky

convert1

Основные результаты работы
  • Создана действующая инфраструктура Центра метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии, включающая сеть региональных и отраслевых отделений
  • Разработан комплекс нормативно-методических и организационно-правовых документов, регламентирующих работу Центра, взаимодействие его отделений
  • Проведен мониторинг измерительных потребностей предприятий ННС, измерительных и калибровочных возможностей отделений Центра
  • Создана информационно-аналитическая система, обеспечивающая взаимодействие отделений Центра между собой и с предприятиями наноиндустрии, включающая базу данных измерительных возможностей и измерительных потребностей предприятий наноиндустрии
  • Проведено повышение квалификации кадров поверителей и метрологов
  • Проведена апробация работы Центра путем организации его опытного функционирования, проведено необходимое инструментальное и нормативно-методическое дооснащение
  • Выполнены мероприятий по созданию механизмов международного признания результатов измерений и калибровок средств измерений в сфере нанотехнологий
  • Расширена область аккредитации головного отделения Центра метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии
  • Реализована возможность работы Центра метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии в режиме ЦКП
Структура центра

Центр представляет собой распределенную структуру, включающую:

  • Базовые организации

    • ФГУП ВНИИОФИ (головная организация)
    • ФГУП ВНИИМС
    • ФГУ РНЦ Курчатовский институт
  • Региональные отделения

    • ФГУ ТЕСТ-С.-Петербург (Северо-западный ФО)
    • ФГУП ВНИИМС (Центральный ФО)
    • Ростовский ЦСМ (Южный ФО)
    • ФГУП ВНИИМС (Приволжский ФО)
    • ФГУП УНИИМ (Уральский ФО)
    • ФГУП СНИИМ (Сибирский ФО)
    • ФГУП ВНИИФТРИ (Дальневосточный ФО)
  • Отраслевые отделения

    • ФГУП ВИАМ
    • ФГУП ЦНИИ КМ Прометей
    • ФГУ РНЦ Курчатовский институт
    • ГОУ ВПО МИЭТ
    • ФГУП ЦНИИХМ
    • ФГУП НИИФП
    • ТГУ
    • ФГУП Центр Келдыша
    • ОАО ВНИИНМ им. А.А.Бочварова
  • Прочие предприятия ННС

structure

 

 

Посмотреть структуру Центра (pdf)

Приборы и оборудование Центра Технические характеристики

room

Технологическое помещение с нормируемыми параметрами окружающей среды (класс 5+7 по ГОСТ ИСО)

 

  • Площадь чистой зоны: 100 м2
  • Класс чистоты по ГОСТ ИСО 14644-1-2002: 5÷7
  • Климатические параметры:
    • температура: 20-24 оС
    • влажность 60-75 %
  • Стабильность температуры: 0,5 оС/час
  • Стабильность влажности: 1 % в час
  • Максимальное энерговыделение аппаратуры: 7 КВт
  • Максимальное число работающих: 8 чел.

combgenerator

FC1500-250 – синтезатор оптических частот компании Менло Системс ГмбХ

 

  • Стабилизированная шкала эквидистантных частот в спектральном диапазоне: 500-2100 нм
  • Частотный интервал между отдельными линиями: 250 MГц
  • Точность: 10-14
  • Стабильность: 5×10-13 за 1 секунду

zetasizernano

Анализатор размера частиц ZetasizerNano фирмы Malvern

 

  • Измеряемые параметры:
    • размер частиц
    • дзета потенциал
    • абсолютная молекулярная масса
  • Анализируемые образцы - молекулярные и коллоидные растворы, суспензии, эмульсии
  • Диапазон размеров: 0.6 нм – 6.0 мкм
  • Диапазон определяемой молекулярной массы - от 1x103 до 2x107 Дальтон
  • Диапазон концентраций - от 0.1 мг/мл до 40% (объёмных/весовых)
  • Лазер - 4 мВт, 633 нм, He-Ne

zygo

Нанопрофилометр Zygo NewView 6200

 

  • Длина когерентности оптического излучения, мкм: 2,9
  • Диапазон вертикального сканирования, мкм: 150
  • Вертикальное разрешение, нм: <0,1
  • Скорость сканирования, мкм/сек – до 7
  • Расширенный диапазон вертикального сканирования, мм: 15
  • Вертикальное разрешение в расширенном диапазоне, нм: <100
  • Латеральное разрешение, мкм (зависит от объектива): 0,37÷9,5
  • Количество элементов изображения (формат ПЗС-матрицы): 640х480
  • Линейное поле зрения, мм: 0,03÷14

innova

СЗМ Innova фирмы Veeco

 

  • Режимы работы СЗМ в воздухе и жидкостях:
    • контактный, полуконтактный/ резонансный режим
    • режим визуализации фазы колебаний кантилевера
    • микроскопия сил трения
    • силовая спектроскопия
    • модуляционная силовая микроскопия
    • электростатическая силовая микроскопия
    • микроскопия поверхностного потенциала
    • магнитная силовая микроскопия
  • Стандартное оборудование СЗМ: система сканирования образцом, обеспечивающая постоянное положение зонда по координатам XY и Z относительно лазерного источника и фотодетектора
  • Возможности наращивания
    • сканирующая емкостная микроскопия
    • сканирующая микроскопия сопротивления растекания
    • туннельная атомно-силовая микроскопия
    • атомно-силовая микроскопия проводимости
    • атомно-силовая микроскопия проводимости в режиме торсионного резонанса

nvision

NVision 40 фирмы Carl Zeiss

 

  • Электронная пушка – Автоэмиссионный катод типа Шоттки, стабильность пучка по току не хуже 0,2%/час / 0,4%/сутки
  • Ионная пушка – на базе Ga-источника
  • Ускоряющее напряжение электронной пушки: от 100 до 30000 В (шаг 10В)
  • Ускоряющее напряжение ионной пушки: от 2 000 до 30 000 В
  • Сканирование и литография: с разрешением до 50 нм
  • Полный диапазон увеличений: от 12х до 900 000х
  • Разрешающая способность электронной колонны: 0,8 нм при использовании STEM-детекторов
  • Разрешающая способность ионной колонны: 4нм
  • Вакуумная система
    • безмаслянная
    • рабочий высокий вакуум в камере не хуже 2х10-6гПа
    • рабочий высокий вакуум в пушках не хуже 2х10-9гПа

limbra

Libra 120

 

  • Ускоряющее напряжение: до 120 000 В или выше
  • Катодный узел: для работы с W-катодом и LaB6-катодом или с автоэмиссионным катодом Шоттки
  • Диапазон увеличений: от 8х до 630 000х
  • Разрешающая способность
    • по линии не хуже 0,2 нм
    • по точкам не хуже 0,34 нм
  • Вакуумная система – раздельная откачка участков ПЭМ (пушка/колонна/камера наблюдения)
  • Система получения изображения: цифровая камера с разрешением до 3072х2304 пикселей
  • Дополнительное оборудование, имеется возможность установки на микроскоп:
    • энергодисперсионного спектрометра с разрешением не хуже 136 эВ
    • ограничителя луча
    • сканирующей приставки с разрешением 1.5 / 2.0 /2.0 нм
    • детектора вторичных электронов
    • детектора отраженных электронов
    • детектора электронов рассеянных под высокими углами
    • детектора темного поля
    • детектора светлого поля

shimadzu

Shimadzu – Рентгеновский дифрактометр

 

  • Мощность: не менее 3 кВт
  • Максимальное напряжение: 60 кВ, шаг 1 кВ
  • Минимальный шаг гониометра: 0.00010
  • Диапазон углов сканирования: от -12 до +1640
  • Макимальные размеры образца (ДхШхВ): 400 мм х 550 мм х 400 мм
  • Детектор: сцинтилляционный без принудительного охлаждения (NaI)

witec

Ближнепольный микроскоп Witec

 

  • Разрешающая способность: 100 нм
  • Режимы работы:
    • фотолюминесценция
    • рамановская спектроскопия
    • флуорисценция
  • Материал образцов
    • металлы
    • полупроводники
    • пластики
    • биоматериалы
  • Диапазон углов сканирования: от -12 до +1640
  • Совмещение: с АФМ модулем
  • Источник излучения
    • лазерный диод (785 нм)
    • He-Ne (632.8 нм)
    • Nd-YAG / SHG (532 нм)

mia1

МИА-1 – Автоматизированный лазерный микроинтерферометр

 

  • Длина волны зондирующего излучения, нм: 532, 650, 690
  • Поле зрения, мкм: 145 х 100, 30 х 23
  • Разрешение латеральное, мкм: 0,5
  • Разрешение по глубине, нм: 2
  • Алгоритм реконструкции фазы: метод фазовых шагов
  • Возможность измерения параметров слоистых структур, измерение в жидких средах, с высоким уровнем шумов

veeco

Конфокальный сканирующий микроскоп Veeco

 

  • Разрешение: 80 нм
  • Стандартные режимы: светлое и темное поле
  • Опционально:
    • дифференциальный
    • интерференционный контраст
  • Поле зрения: 950 мкм x 750 мкм (объектив 5x)
  • Видеокамера: 1280 x 1024 пиксел
  • Максимальная толщина образца: 2.5 см
  • Скорость сканирования (максимально): 23 мкм/с
  • Набор объективов: 5X, 10X, 20X, 50X, 100X

so_1_midl

 

Стандартные образцы представляют собой суспензию наночастиц коллоидного золота в деионизованной воде, Комплект ГСО состоит из 3 ампул, содержащих водные суспензии наночастиц золота с номинальным размером 10, 30 и 60 нм.


Перечень мер, входящих в состав оборудования головного отделения

Разработанные и аттестованные методики выполнения измерений и стандартные образцы

Результаты мониторинга измерительных потребностей предприятий наноиндустрии (октябрь 2010 г.) (pdf)

 

Услуги

ФГУП «ВНИИОФИ» оказывает услуги по
поверке, калибровке средств измерений, аттестации методик проведения измерений

Приборы

Лицензия на производство приборов и средств измерений

Лицензия № 004499-ИР

ЭТАЛОННАЯ БАЗА

На базе ФГУП «ВНИИОФИ» размещена уникальная база
государственных первичных эталонов

Copyright ВНИИОФИ | iDesign&ServisDesk | 2009 - 2017

s.e.o.:NBmarketing