Применяют для контроля технологических параметров (толщина, композиция состава, величина шероховатости) в полупроводниковой наноэлектронике, в рентгеновской оптике, оптике интерференционных покрытий, включающих слои металлов.
 
Описание

ГЭТ 203-2012

get203-2012

get203-2012-mera

Эталонные меры комплексного показателя преломления

Государственный первичный эталон состоит из комплекса следующих технических средств и вспомогательных устройств:

  • цифрового спектрального эллипсометра;
  • эталонных мер комплексного показателя преломления однослойных и многослойных в виде плоских супергладких подложек с пленками различной толщины из разных металлов, полупроводников и диэлектриков, а также массивные заготовки из кремния и других материалов – для контроля стабильности эталона;
  • профилометра интерференционного компьютерного для контроля плоскостности рабочей поверхности эталонных мер;
  • автоматизированного интерференционного микроскопа для контроля параметров шероховатости супергладких рабочей поверхности эталонных мер;
  • цифровой метеостанции для измерения параметров окружающей среды;
  • системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.

Государственный первичный эталон применяют для измерения оптических постоянных n и k тонкопленочных структур, представляющих собой комбинации тонких металлических, диэлектрических и полупроводниковых слоев (пленок) на поверхности полупроводникового кристалла или изолятора, необходимы в микроэлектронике. Контроль технологических параметров (толщина, композиция состава, величина шероховатости) в полупроводниковой наноэлектронике, в рентгеновской оптике, оптике интерференционных покрытий, включающих слои металлов. Комплексный показатель преломления необходимо измерять и учитывать при интерференционных измерениях высоты рельефа и/или толщины в нанометровом диапазоне.

Основные области применения:

  • микроэлектроника
  • физика твердого тела
  • физика поверхности
  • материаловедение
  • технология оптических покрытий
  • химия полимеров и электрохимия
  • биология, медицина

Измерение комплексного показателя преломления (его составляющих n и k) выполняется с помощью спектрального эллипсометра через измерение эллипсометрических углов. Используются как стандартные модели «Metal Substrates», «Absorbing Thin Films (B-Spline)», так и собственные модели в зависимости от типа подложки (сапфир, ситалл, кремний). Для передачи размера единиц изготовлены эталонные меры комплексного показателя преломления однослойные и многослойные в виде плоских супергладких подложек с пленками различной толщины из разных металлов, полупроводников и диэлектриков, а также массивные заготовки из кремния и других материалов. Для контроля качества мер используются профилометр интерференционный компьютерный (плоскостность) и автоматизированный интерференционный микроскоп (шероховатость).

line168

Контактные данные

levin_2
convert1
Технические характеристики
 
Диапазон значений комплексного показателя преломления, в котором воспроизводятся единицы, составляет:
- для действительной части п (показатель преломления)
- для мнимой части k (главный показатель поглощения)


от 0,5 до 5,0
от 0,01 до 8,0
Среднее квадратическое отклонение:
- для действительной части п не более
- для мнимой части k не более

0,001
0,002
Неисключенная систематическая погрешность:
- для действительной части п не более
- для мнимой части k не более

0,0007
0,0004
Стандартная неопределенность измерений оцененная по типу А:
uA(n)
uA(k)

0,001
0,002
Стандартная неопределенность измерений оцененная по типу B:
uB(n)
uB(k)

0,0007
0,0004
Суммарная стандартная неопределенность:
uC(n)
uC(k)

0,001
0,002
Расширенная неопределенность при коэффициенте охвата k = 2:
UР(n)
UP(k)

0,002
0,004
 

Услуги

ФГУП «ВНИИОФИ» оказывает услуги по
поверке, калибровке средств измерений, аттестации методик проведения измерений

Приборы

В соответствии с положениями устава ФГУП «ВНИИОФИ» изготавливает и реализует высокоточные средства измерений

Метрологические характеристики могут уточняться в договорах на поставку конкретных средств измерений

ЭТАЛОННАЯ БАЗА

На базе ФГУП «ВНИИОФИ» размещена уникальная база
государственных первичных эталонов

Copyright ВНИИОФИ | iDesign&ServisDesk | 2009 - 2017

s.e.o.:NBmarketing