Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов ГЭТ 186-2010 используется для исследования физико-химических свойств поверхности, ее морфологии, для измерения толщин многослойных структур и характеризации оптических свойств тонких пленок.
 
Описание

ГЭТ 186-2010

Overall_001173-M44-GET-186-2010-FOTO-IMG_0347-004

Эталонная установка для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси.

 
001116-M44-GET-186-2010-FOTO-IMG_0287-001

Эталонная установка для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрического угла Дельта.

Эллипсометрия широко используется для исследования физико-химических свойств поверхности, ее морфологии, для измерения толщин многослойных структур и характеризации оптических свойств тонких пленок.

Области применения:

  • микроэлектроника;
  • физика твердого тела;
  • физика поверхности;
  • материаловедение;
  • технология оптических покрытий;
  • химия полимеров и электрохимия;
  • биология;
  • медицина.

Вид измерений:

  • эллипсометрия;
  • фотометрия.

Состав эталона:

  • Эталонная установка для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси;
  • Эталонная установка для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрического угла Дельта.

line168

Контактные данные

levin_2
convert1
Предназначение

Эллипсометрия – это совокупность методов изучения поверхности жидких и твёрдых тел по состоянию поляризации светового пучка, отражённого этой поверхностью и/или преломлённого на ней. Падающий на поверхность плоско поляризованный свет приобретает при отражении и преломлении эллиптическую поляризацию вследствие наличия тонкого переходного слоя на границе раздела сред. Зависимость между оптическими постоянными слоя и параметрами эллиптически поляризованного света устанавливается на основании формул Френеля. Измерение параметров эллиптически поляризованного света, отраженного или прошедшего через исследуемый образец, позволяет измерять оптические постоянные и толщину тонких пленок.

В состав эталонной установоки для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси входят:

  • цифровой спектральный эллипсометр;
  • эталонные меры эллипсометрических углов в виде эллипсометрических пластинок – кремниевых пластинок с пленкой из двуокиси кремния различной толщины - для контроля стабильности эталона;
  • цифровая метеостанция для измерения параметров окружающей среды;
  • системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.

В состав эталонной установки для воспроизведения, хранения и передачи размера единицы эллипсометрического угла Дельта входят:

  • цифровой поляриметр с вращающимся анализатором;
  • эталонные меры эллипсометрического угла Дельта в виде четверть -и полуволновых фазовых пластинок нулевого порядка для контроля стабильности эталона;
  • цифровая метеостанция для измерения параметров окружающей среды;
  • системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.
Технические характеристики
 
Диапазон значений, воспроизводимых эталоном:
- эллипсометрического угла Дельта
- эллипсометрического угла ПСИ

0° до 360°
0° до 90°
Среднее квадратическое отклонение результатов измерений, не более:
- воспроизведение единицы эллипсометрического угла Дельта
- воспроизведение единицы эллипсометрического угла Пси

0,02°
0,01°
Неисключенная систематическая погрешность, не более:
- воспроизведение единицы эллипсометрического угла Дельта
- воспроизведение единицы эллипсометрического угла Пси

0,05°
0,03°
 

Услуги

ФГУП «ВНИИОФИ» оказывает услуги по
поверке, калибровке средств измерений, аттестации методик проведения измерений

Приборы

В соответствии с положениями устава ФГУП «ВНИИОФИ» изготавливает и реализует высокоточные средства измерений

Метрологические характеристики могут уточняться в договорах на поставку конкретных средств измерений

ЭТАЛОННАЯ БАЗА

На базе ФГУП «ВНИИОФИ» размещена уникальная база
государственных первичных эталонов

Copyright ВНИИОФИ | iDesign&ServisDesk | 2009 - 2017

s.e.o.:NBmarketing